便攜x射線(xiàn)熒光光譜儀是一種常用的光譜技術(shù)，既可用于材料的組成成分分析，又可用于涂層和多層薄膜厚度的測(cè)量等。與所有的分析儀器一樣，在做出購(gòu)買(mǎi)決定前應(yīng)當(dāng)考慮許多因素，例如應(yīng)用領(lǐng)域等細(xì)節(jié)。所以，下面將著重討論在選擇一套用于測(cè)量薄層材料厚度的X射線(xiàn)熒光光譜儀體系時(shí)應(yīng)當(dāng)考慮的一些重要因素，討論的對(duì)象主要為能量色散X射線(xiàn)熒光光譜儀體系（EDXRF），這種體系如今已經(jīng)具有許多不同的配置規(guī)格，既有臺(tái)式配置的，又有便攜的、手持式配置的。